Seperti yang kita ketahui bersama, hanya ada satu pabrikan di dunia yang dapat memproduksi litografi EUV, yaituASML Belanda.
Alasan mengapa hanya ada satu pabrikan di dunia adalah karena ASML telah menyatukan banyak pabrikan utama, seperti Zeiss (Zeiss), perusahaan optik Jerman, Cymer (AS), danTRUMPF (Jerman).
ASML telah mengikat pabrikan ini ke keretanya melalui investasi, akuisisi, kepemilikan saham, pendirian pusat penelitian, dan seterusnya, dan pabrikan ini, mungkin satu-satunya pabrikan di dunia yang dapat memproduksi produk ini, jadi pada akhirnya hanya ASML di dunia yang dapat menghasilkan litografi EUV.
Namun, baru-baru ini, rantai pasokan utama ASML, berlari ke Shenzhen, Cina untuk membangun pabrik, anak perusahaannya di Shenzhen menetap di Taman Demonstrasi Industri Baoan Sino-Jerman (Eropa).
Pabrikan ini adalah Grup TRUMPF Jerman (TRUMPF), ini adalah litografi EUV ASML, satu-satunya pemasok sumber laser di dunia.
Produk TRUMPF dalam litografi EUV, seberapa penting? Pertama, dengarkan saya jelaskan prinsip litografi EUV, Anda akan mengerti.
Prinsip litografi EUV, sederhananya, berpusat pada tiga sistem utama, sistem sumber cahaya ultraviolet EUV, sistem cermin objektif, dan sistem tabel.
Proses spesifiknya adalah menggunakan laser untuk membangkitkan panjang gelombang 13,5 nm dari sinar ultraviolet ekstrim, yang kemudian dikoreksi untuk membentuk berkas cahaya yang terkontrol, yang kemudian diproyeksikan ke meja photomask sebelum diproyeksikan melalui cermin objektif ke meja paparan. dan akhirnya tergores menjadi rangkaian pada wafer silikon yang dilapisi dengan photoresist.
Bagaimana salah satu sistem sumber sinar UV EUV diperoleh dengan membombardir tetesan logam timah (Sn) dengan laser CO2 berdaya 30 kW, menguapkannya menjadi plasma, dan akhirnya memperoleh sinar EUV pada panjang gelombang 13,5 nm.
Laser CO2 30 kW ini dipasok oleh TRUMPF, satu-satunya di dunia.
Jangan remehkan laser CO2 ini, ia memiliki 457.329 bagian, panjang kabel dalam sistem hingga 7.322 meter, dan beratnya 17.090 kg, yang merupakan salah satu komponen inti terpenting dalam litografi EUV.
Sekarang TRUMPF berlari ke China untuk membangun pabrik, niatnya jelas, yaitu, optimis tentang pasar laser China, dan bahkan pandangan jangka panjang, optimis tentang pasar litografi China, masa depan dapat bekerja sama dengan China untuk membangun litografi EUV .
Faktanya, sudah ada lebih dari satu rantai pasokan ASML yang berjalan ke China untuk membangun pabrik, ada KMWE dan pabrikan lain, juga ke China untuk membangun pabrik.
Menurut tren saat ini, kami dapat berharap dengan optimis bahwa mungkin tidak lama lagi teknologi litografi China akan menjadi langkah maju yang besar, dan bahkan volume keluaran litografi EUV, juga dapat diharapkan, menurut Anda?
