Baru-baru ini, Institut Mikrosistem dan Teknologi Informasi Shanghai dari Akademi Ilmu Pengetahuan China telah mengembangkan cermin reflektif cepat MEMS berkinerja tinggi dengan sensor sudut terintegrasi. Cermin ini memiliki ukuran besar, volume paket kecil, kinerja yang sangat baik, dan potensi besar dalam komunikasi satelit laser.
Cermin refleksi cepat membutuhkan waktu hampir lima tahun untuk mengembangkan . ia mengadopsi integrasi heterogen lapisan ganda dan teknologi ikatan tingkat wafer, dan volumenya hanya ukuran 1- koin yuan .
Ini mengatasi hambatan teknis dari cermin mekanik yang mencerminkan cepat mekanis dan MEM asli yang mencerminkan cermin cepat, menciptakan produk kelas ruang angkasa dengan akurasi μrad yang menunjuk, memenuhi indikator kinerja ultra-tinggi dari aplikasi yang lahir satelit .
Terinspirasi oleh layar ponsel, tim menggunakan prinsip strain silikon piezoresistif untuk mengintegrasikan sensor sudut chip, dan melalui inovasi struktural, sensitivitas meningkat sebesar 63%, mengoptimalkan keakuratan kontrol balok .
Hasil tes menunjukkan bahwa pada frekuensi tertentu, akurasi sudut memenuhi standar, dan deformasi permukaan dinamis maksimum hanya 2 nanometer .
Pejabat itu membuat analogi, yang setara dengan semua pasang surut di cermin seukuran lapangan sepak bola yang tidak melebihi diameter rambut, memenuhi persyaratan ketat komunikasi laser satelit jarak jauh di permukaan cermin .
