Sesuai dengan karakteristik bahan substrat, akurasi permukaan substrat, kekasaran permukaan dan jenis polutan partikulat, metode pembersihan laser saat ini dapat dibagi menjadi dua kategori berikut.
1) Metode pembersihan kering laser. Laser secara langsung menyinari permukaan objek, mencemari partikel atau menyerap energi di permukaan, dan kemudian membuat partikel meninggalkan permukaan melalui difusi termal, dekomposisi foto, dan gasifikasi.
2) Metode pembersihan basah laser. Semprotkan sedikit cairan yang tidak terkontaminasi (terutama air, terkadang alkohol) pada permukaan bahan yang akan dibersihkan, lalu iradiasi dengan laser. Setelah menyerap energi laser, media cair akan menghasilkan penguapan eksplosif, dan mendorong partikel polusi di sekitarnya menjauh dari permukaan material. Selain itu, metode pembersihan senyawa laser telah diusulkan. Energi laser diserap oleh bahan substrat, dan kemudian media perantara yang teradsorpsi dipanaskan oleh konveksi termal, dan media perantara menghasilkan penguapan eksplosif. Didorong oleh aliran udara yang tinggi, partikel dipisahkan dari permukaan substrat bersama dengan media perantara.
